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本儀器是一種高真空蒸發(fā)鍍膜儀，鎢絲籃（或鎢舟）用作蒸發(fā)源，并且樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離是可調(diào)的。 該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機物。 采用高真空不銹鋼腔體，密封性能好，真空性能好。 該腔室配有觀察窗，因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統(tǒng)的**真空10E-4Pa，可有效提高涂層質(zhì)量，并能滿足大多數(shù)蒸發(fā)涂層實驗所需的真空環(huán)境。
高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀用途：
卷繞式蒸發(fā)鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長，大多數(shù)金屬和某些有機材料薄膜，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物等。
高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀 |
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產(chǎn)品型號 |
CY-EVH600R-II-HH-SS |
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供電電壓 |
單相，AC220V, 50Hz |
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真空腔體 |
內(nèi)壁處理 |
電解拋光 |
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腔體材料 |
304不銹鋼 |
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腔體尺寸 |
臥式Φ600mm×500mm |
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觀察窗口 |
前置φ100mm含遮光片 |
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開啟方式 |
前開門式 |
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卷繞系統(tǒng) |
收放卷 |
Φ200mmx300mm |
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速度 |
60m/min（可調(diào)） |
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張緊 |
可調(diào) |
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蒸發(fā)源和電源 |
部件數(shù)量 |
1套金屬蒸發(fā)源，帶獨立擋板 |
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電極電壓 |
10V |
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送絲速度 |
≤3m/min |
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蒸發(fā)電流 |
功率2KW，*大電流為160A，調(diào)節(jié)精度為1A
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蒸發(fā)器 |
鎢舟，1個 |
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真空系統(tǒng) |
前級泵 |
雙極旋片泵，抽速1.1L/s |
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渦輪分子泵 |
抽速：600L/s； 額定轉(zhuǎn)速：24000rpm； 啟動時間：≦4.5min 冷卻方式：水冷+空冷 進氣接口：ISO150 出氣接口：KF40 真空度：5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar) 抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的時間少于40分鐘 |
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復(fù)合真空計 |
測量范圍 105Pa~10-5Pa |
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膜厚監(jiān)測儀 |
測量精度 |
0.1? |
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測量速度 |
100ms-1s/次 |
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可設(shè)置測量范圍 |
500000?（鋁） |
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標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體 |
6MHz |
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適用晶體尺寸 |
Φ14mm (標(biāo)配10片) |
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空壓機 |
作用于電控氣動閥 |
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水冷機 |
冷卻水溫度：≦37℃ 流速：10L/min 功率：0.1KW 冷卻功率：50W/℃ 水箱容量：9L |
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控制系統(tǒng) |
CYKY自研專業(yè)級控制器 |
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